RKHシリーズ オールテフロンカプセルフィルター
RKHシリーズ オールテフロンカプセルフィルター
RKHシリーズのパーフルオロ化球状コアは、化学ポンプや末端フローコアの保護に使用されます。湿式プロセスポンプの先端に設置することで、大きなウェハーの破片を捕捉・保護できます。これらの破片は、ポンプ内部のベローズやダイヤフラムを容易に損傷する可能性があります。
特性と利点
- 高温環境下でも使用可能
- 大口径により最適なプロセス流量と液だれの最小化を実現し、ダウンタイムを削減、高額なポンプ損傷のリスクを排除
- 優れた流量精度により、乾燥剤の保持能力を維持しながら耐用年数を延長
- 設置が容易な設計により、既存のポンプに簡単に組み込むことができ、化学物質の残留を低減
主な用途
- 半導体湿式プロセス
- 腐食性化学溶剤および剥離剤
- 洗浄およびすすぎプロセス
