特性優點

• 可於高溫環境下使用
• 大孔徑確保最佳的製程流量和最小的壓降，減少停機時間、消除
  昂貴泵浦損壞的風險
• 良好的流量精度，延長使用壽命，同時保持去質能力
• 簡易安裝的設計讓客戶方便安裝到現有的幫浦中，減少化學品的
  滯留量

典型應用

• 半導體濕製程
• 腐蝕性化學溶劑、剝離劑
• 清潔和清洗製程