CMP研磨液深層濾心

CMP研磨液深層濾心


CMP濾心採用獨特的捲繞結構,可精確的過濾晶圓研磨液。 有效地攔截大顆粒,並讓可用的顆粒通過濾心。 從外到內的分級孔徑增加了納污量並延長使用壽命。

特性優點

* 低析出: 100% 聚丙烯結構和超音波熱熔技術,無黏合   劑,溶出物極少,因此能達到最低的析出量。

* 孔徑結構: 梯度孔徑結構防止冷凝研磨液阻塞薄膜表面,進而增加濾膜的可用性、延長使用壽命。

* 高效過濾: 獨特的纖維纏繞結構準確的將CMP研磨液過濾,攔截大分子並釋放有效的分子。

    * 特殊的外部網格可阻止纖維從濾心脫落。