特性優點

• 可於高溫環境下使用
• 小型尺寸的濾心適用於多種設備環境。易於使用且安裝方便
• 多數用於中小規模的生產線及研究設備
• 可根據設備環境及使用過程，建議適用的濾心規格
• 良好的流量精度，延長使用壽命，同時保持去質能力
• 可依所需尺寸及形狀做修改，或依照特殊過濾精度使用特殊材質
• 使用熱焊接技術，無黏著劑，不會攜帶任何汙染物

典型應用

• 半導體FEOL、MOL、BEOL濕製程
• 電子工業用水過濾
• 化學藥液 & 溶劑
• 光阻過濾