氣體過濾濾心

氣體過濾濾心


這是一款高流量且專為過濾超高純度氣體設計的濾心。應用於半導體製程氣體的過濾。使用耐腐蝕性材質也可應用在各種特殊氣體的過濾。獨特的一體式結構使其過濾流量大。簡易安裝,方便拆卸。

性優點

  • 使用PTFE 濾膜,使其過濾氣體時具有高流量與低壓降
  • 出色的氣體排出特性
  • PTFE 濾膜&316L 不鏽鋼電解外殼,使其有極高的耐腐蝕性,並確保氣體在高溫以及高壓狀態下可穩定過濾
  • 過濾精度達到≧0.003µm,可精密過濾半導體製程之氣體
  • 全氟濾膜, 提供優越的化學相容性
  • 100% 氦漏氣試驗,確保濾心品質
  • 100% 完整性測試

典型應用

  • 超高純氣體
  • 高溫過濾
  • 新晶圓廠建設
  • 動力壓產業 (Dynamic-pressure)
  • 惰性&反應性氣體 (inert & reactive gases)

產品規格

濾膜

PTFE

支撐層

PFA

外殼

SS316L

過濾精度

≧0.003µm

最大工作溫度

20.5 MPa @ 120 °C

最大工作壓力

Forward 0.70 MPa @ 40 ºC

Reverse 0.35 MPa @ 20 °C