CMP 拋光液深層濾心

CMP 拋光液深層濾心


CMP濾心專為半導體產業設計,採用獨特的捲繞結構,可確保精確的過濾晶圓拋光液。 有效地攔截大顆粒,並讓可用的顆粒通過濾心。 從外到內的分級孔徑增加了納污量並延長過濾器的使用壽命。

特性優點

  • 低析出: 100% 聚丙烯結構和熱熔技術,無黏合 劑,溶出物極少因此有最低的析出量。
  • 孔徑結構: 梯度孔徑結構防止冷凝拋光液阻塞薄膜表面,進而增加了濾膜的可用性。
  • 高效過濾: 獨特的纖維纏繞結構準確的將CMP拋光液過濾,攔截大分子並釋放有效的分子。